NEX1200 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0〜5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control 될 수 있도록 하는 장치이다.
또한, 2 Channel(PCB 한장)의 단위로 Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 MFC대신 Capacitance Manometer의 압력을 Display 할 수 있도록 설계되었다.(0~10VDC Pressure signal)
Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가하면 따로 Pressure Control Mode로 들어갈 수 있어서, Channel에 연결된 MFC중에서 원하는 Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control 할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다. 여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로 Flow양을 Control할 수 있다.
모든것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.
● 초고속 마이크로 프로세서 채택.
● 16 bit의 Bipolar A/D Converter 사용 (+, -Voltage Display 가능)
● 문자 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택.
● 유량이나 압력값의 단위를 유저가 직접 입력 가능.
● Gas 조절등, 유저가 원하는 값을 숫자키를 이용하여 입력하므로 빠르고 편리한 것이 장점.
● 2,4,6,8 채널식으로 채널 추가가 가능.
● MFC 대신에 Capacitance Manometer를 연결하여 압력의 측정이 가능.
● 각 채널별 비율 control 기능.
(비율control을 하지 않는 채널은 독립적으로 유량 control이 가능)
● Total 유량 적산 기능
● Upstream Pressure control이 가능(Optional).
● PC 통신기능
● 단자를 이용한 외부 유량 On/Off. 제어 기능.
item code : NEX1200
