NEX2200 Vacuum Gauge Controller는 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할 수 있으며, 진공측정 범위는 1 x 10-9 ~ 1000 Torr이다.
이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다.
또한 이Controller는 연결하는 gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 탈착이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL IG on/off 기능으로 구성되어 있다.
별도의 내부 Set-Point를 이용하여 Convection Gauge의 압력측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용할 수 있다.
● 설치 공간확보가 용이한 일체형
● 4 Channel 까지 Gauge를 선택하여 원하는 대로 설치 가능.
● 문자 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택
● 외부기기 및 공정에 사용토록 6~8개의 Set-Point 제공
● Ionization Gauge 보호기능(1 x 10-3 Torr이상에서 자동 꺼짐 기능)
● Degas 시간 제어 기능
● 상태창을 이용한 SP, IG on/off등 현재상태 확인 가능
● Gauge의 영점 및 대기압을 버튼으로 보정
item code : NEX2200
