NEX-5 Power Supply & Pressure Display Unit

NEX-5 Power Supply & Pressure Display Unit은 기본적으로 Capacitance Manometer에 Power (±15VDC)를 공급하고 Sensor로 부터 Signal을 받아들여Display 하며, Interface와 관련하여 Set-Point (Trip Point) 2개를 Option으로 내장할 수 있도록 하였으며, Relay의 상태표시는 LCD 창에서 확인할 수 있다. 또한 Trip Point Option 대신에 RS-232 PC Interface를 장착할 수 있도록 하였다.

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NEX60

NEX60은 MFC에 Power를 공급하고, 실제 MFC를 통해 흐르고 있는 Flow양을Analog Signal로 받아들여 Digital값으로 Display 하며 User가 원하는 Set Point값을 Front Panel에서 Setting하며 Button Switch를 사용해서 Flow양을 확인할 수 있도록 Design되었다. 또한 연결된 MFC에 대한 Full Scale Range를 입력할 수 있으며, 연결된 MFC에 다른 종류의 Gas를 사용할 경우 Correction Factor를 맞추어 사용할 수 있다.

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NEX300D Flow Controller

NEX300D Flow Controller는 기본적으로 MFC (Mass Flow Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow양을 Display하며 안정된 SET Point Voltage(0~5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control 될 수 있도록 하는 장치이다. 이 Controller는 2channel이 기본으로 장착되어 있으며, 모든 동작이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.

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NEX1200 Flow & Pressure Controller

NEX1200 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0〜5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control 될 수 있도록 하는 장치이다. 또한, 2 Channel(PCB 한장)의 단위로 Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 MFC대신 Capacitance Manometer의 압력을 Display 할 수 있도록 설계되었다.(0~10VDC Pressure signal) Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가하면 따로 Pressure Control Mode로 들어갈 수 있어서, Channel에 연결된 MFC중에서 원하는 Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control 할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다. 여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로 Flow양을 Control할 수 있다. 모든것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.

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