NEX3000 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 Capacitance Manometer에Power (±15VDC)를 공급하고 이로 부터 Pressure Signal을 받아들여 Display함과 동시에 Throttle Valve를 연결하고 PID 또는 Self-Tuning 기능을 사용하여 Pressure를 Control하는 장치이다.
이 중에서 Self-Tuning기능을 사용하면 Chamber 내로 유입되는 Gas의 양,
Pump Speed, Valve Position 별 진공압력 변화, 그리고 기타 다른 중요한Parameter들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습득한다.
User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원하는 압력에 보다 빨리도달 할 수 있다.
Process Limit Relay 가 2개 내장되어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.
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