Vacuum Gauge Controller

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NEX2000 Convection gauge Controller

NEX2000 Convection gauge Controller의 진공측정 범위는 8.0 x 10-4 ~ 1000 Torr이다. 두개의 공정제어용 Trip-Point가 제공되며, 이것을 이용하여 공정의 자동화를 실현할 수 있다. 또한 RS-232 또는 RS-485 Protocol로 PC와 연결하여 사용할 수 있다.


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NEX2200 Vacuum Gauge Controller

NEX2200 Vacuum Gauge Controller는 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할 수 있으며, 진공측정 범위는 1 x 10-9 ~ 1000 Torr이다. 이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다. 또한 이Controller는 연결하는 gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 탈착이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL IG on/off 기능으로 구성되어 있다. 별도의 내부 Set-Point를 이용하여 Convection Gauge의 압력측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용할 수 있다.


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